产品名称：微型光电传感器产品类型：晶圆片托架落座传感器产品型号：EE-SPY801 / SPY802产品特点：晶圆片托架的落座检测通过与导槽并用的方式设定落座位置与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架采用抗干扰光的变调光方式使用环保导线（无滑石粉）附件（另售）: 导槽 （ EE9-C01 / EE9-C02 ）更多详情：请致电我公司ee-spy801_802_ds_c_3_3.pdf
产品名称：微型光电传感器
产品类型：晶圆片托架落座传感器
产品型号：EE-SPY801 / SPY802
产品特点：
晶圆片托架的落座检测
通过与导槽并用的方式设定落座位置
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架
采用抗干扰光的变调光方式
使用环保导线（无滑石粉）
附件（另售）:
导槽 （ EE9-C01 / EE9-C02 ）
更多详情：
请致电我公司ee-spy801_802_ds_c_3_3.pdf
